作为一种真空获得设备，分子真空泵（以下简称分子泵）因其工作稳定可靠，在分子流态下具有很好的抽气效率，已经成为清洁高真空、超高真空应用领域的主流设备，在科学仪器、工业生产中得到广泛应用。

图表：分子泵在下游中的主要应用

 

在进入21世纪之前，分子泵主要存在于科研与国防军工领域。近十年间，随着镀膜、节能灯、显示屏等新兴产业的兴起，分子泵逐渐在民用领域崭露头角并取得了快速发展。尤其是半导体产业国产化进程的不断推进和新能源锂电池、光伏设备需求增长，使得国内分子泵行业的市场规模一直处于上升趋势。相关机构预测到2026年，中国分子泵行业市场规模将达到31.0亿元。

 

近几年，分子泵向智能、灵活、高效的方向发展，在传统分子泵基础上，可实现无接触支撑、高效率、高寿命的磁悬浮分子泵等产品获得广泛应用。产品核心技术大力发展的同时，与其配套的产品服务也向着更加专业、经济、高效的人性化方向迈进，这也是市场竞争发展的趋势之一。

 

分子泵的抽气机理与机械泵靠泵腔容积变化进行抽气的机理不同。分子泵是基于动量传递原理，在变频电源驱动电机的带动下高速旋转，分子流区域内气体分子与高速转动的叶片表面碰撞，动量传递给气体分子，使部分气体分子产生定向流动而被排出泵外，从而达到抽气的目的。

 

分子泵应用于高真空和超高真空度范围（约10-1~10-8Pa），无法在大气压强下直接使用，其正常工作需要一定的启动压强（分子泵启动压强一般为0.1~100Pa），通常使用时需要连接低真空泵种作为前级预抽真空泵。分子泵机组是以分子泵为主泵，以旋片泵、涡旋泵为前级泵串联而成的组合真空设备，运行后能迅速使密闭空间获得高真空。

 

分子泵按结构和工作原理可分为涡轮分子泵、牵引分子泵和复合分子泵三种。

 

分子泵分类：（a）涡轮分子泵。（b）复合分子泵

立式涡轮分子泵的结构组成

 

虽然分子泵已经走进工业领域的各个环节，但在应用端许多人对它却并不熟悉。不同于传统的油扩散泵，分子泵是一种高精密机械设备。例如，分子泵抽气单元部分，其中最小间隙小于0.5mm，最大也不超过3mm。而且分子泵的主轴精度都在微米量级，微量的形变就会导致设备发生故障。

 

普发涡轮分子泵中的复合轴承悬浮设计

另外，分子泵对于开机检查、存放的温度与相对湿度及拆卸步骤都有明确要求。其复杂的理论与结构决定了分子泵维护、维修与保养的难度。只有了解并掌握专业的知识理论和实操经验，才能使分子泵稳定、持久地工作。

（内容转载自《德国普发真空-知识中心》如有侵权，联系删除）